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纳米压印光刻领头羊天仁微纳获数千万元战略投资，加速布局微纳光学市场

2021.01.18 来源: 集微网 热度: 542
本轮融资将用于加快公司用于微纳光学等领域纳米压印设备和解决方案的研发和布局，完善售后服务，进一步扩大市场领先优势。晶圆级光学加工量产对纳米压印设备精度、稳定性与一致性要求极高，过去一直被德国、奥地利两家光刻设备公司的进口设备所垄断。