瞄准半导体量检测市场，「微崇半导体」完成近亿元A轮融资

36氪获悉，近日，半导体量检测设备公司微崇半导体完成近亿元A轮融资，由新潮创投、建发新兴投资、水木创投、永昌盛资本共同投资，老股东临芯投资持续加注。资金将用于新产品研发、推进产品机台量产、市场拓展，以及团队扩充和建设。据了解，此次融资是微崇半导体2年内的第5次融资，过去总融资金额近亿元，获得武岳峰科创、云启资本、中芯聚源、临芯投资等多家资本认可与投资。

半导体检测设备贯穿晶体制造的每一道制程工艺，是半导体前道制造设备中，仅次于薄膜沉积、光刻和刻蚀的第四大核心设备。SEMI数据显示，2022年全球量检测设备市场规模约108亿美元，中国大陆市场规模约为32亿美元。

我国已成为全球最大的量检测设备市场，但基本被国外厂商垄断。中国国际招标网数据统计，本土产线量检测设备仍主要依赖于KLA、Onto、Camtek等进口品牌，国产化率只有2%。随着海外不断施加限制措施，量检测设备已成为光刻机之外威胁较大的短板。

与此同时，量检测设备行业壁垒较高。要求设备厂商对光学、电子学、移动平台、传感器等有独特设计和大量的独家Know-How，并随着芯片制程不断升级，提供更灵敏、更快速、更精确的测量能力。

微崇半导体成立于2021年3月，是一家立足于非线性光学的半导体量检测设备生产商，由海归半导体技术团队发起，与国内资深科学家和工程师共同创立。目前，团队人数超30人，研发人员占比70%以上。

应用光学检测技术是市面上主流的检测和量测技术，具有精度高、速度快等特点。微崇的创新二谐波检测技术在继承光学检测优点的基础上，创新性地将超快光学和非线性光学运用在半导体量检测领域，检测晶圆生产中“不可见”的内部晶格缺陷和电学特性，在研发、爬坡、量产各个阶段为客户提供各类问题的解决方案。

具体来说，在研发阶段，借助二谐波晶圆检测技术的快速扫描能力，快速定位晶圆电学缺陷；同时利用技术的高精确度和高分辨率，精准分析缺陷。在产能爬坡阶段，对多道生产工艺进行持续优化，赋能广泛的应用领域。在量产阶段，利用二谐波晶圆检测技术可对晶圆电学缺陷进行快速、无损的在线监测，极大提升问题发现与定位的效率，防止良率波动可能带来的巨大损失。

发展至今，微崇半导体核心产品ASPIRER 3000非线性光学晶圆缺陷检测系统已实现量产，在国内头部客户中验证并导入了一些二谐波独有的应用场景和工艺站点，提供晶圆级别的缺陷检测、膜层质量及界面态的综合测试分析、良率提升和先进制程的在线监测。

微崇半导体核心产品ASPIRER 3000

微崇半导体创始人黄崇基告诉36氪，今年下半年发展重心将放在开拓市场上，让更多客户用上微崇的设备，帮助客户解决各类问题，不仅努力解决中国半导体的“短板”问题，还要用创新做出世界领先的“长板”。