微釜半导体完成新一轮融资

钛媒体App 1月19日消息,国产立式炉设备供应商上海微釜半导体设备有限公司完成新一轮融资,本轮融资由沃衍资本等国内机构投资,用于半导体前道关键工艺设备的研发和量产。