“清华系”半导体设备企业朗道科技获天使轮融资

10月10日，朗道燧岩（上海）科技有限公司（简称：朗道科技）在张江高科·矽岸国际举行开业典礼，正式入驻上海集成电路设计产业园。

朗道科技成立于2024年，专注于半导体制造专用设备的研发、生产与技术服务。该公司创始人王豪博士团队以清华大学气体放电等离子体实验室的研发成果为基础，聚焦半导体制造工艺核心技术——LPP-EUV光刻光源，致力于为中国芯片制造行业提供高功率、高稳定性的EUV光源，突破关键“卡脖子”技术。

据悉，朗道科技于近日完成天使轮战略融资，由张江高科旗下天使基金张江燧玥独家领投。截至目前，朗道科技累计融资额已超千万元。

张江高科消息显示，朗道科技目前拥有三大核心业务板块：燧岩——提供集成化检测/光刻级别EUV光源系统，为半导体厂商提供可靠的EUV光源解决方案；

辉光——激光器聚焦EUV光刻使用的大功率二氧化碳轴快流激光器，兼顾多种工业场景应用；

天算——专注于等离子体仿真软件研发与服务，开发电磁流体多物理场模拟程序、分子动力学多尺度数值模拟程序等，已成功嵌入半导体、航空航天等行业的工业场景。