青松资本完成对思锐智能最新一轮融资

青岛四方思锐智能技术有限公司成立于2018年,是国家级专精特新“小巨人”,在北京、上海设有研发中心。主要聚焦关键半导体前道工艺设备的研发、生产和销售,提供具有自主可控的核心关键技术的系统装备产品和技术服务方案,公司产品有原子层沉积镀膜(ALD)设备、薄膜电发光显示器(LDI)设备以及离子注入(IMP)设备三大产品系列,广泛应用于集成电路、第三代半导体、新能源、光学、零部件镀膜等诸多高精尖领域。

2018年9月,公司完成了对芬兰BeneqOy100%股权的收购工作。以Beneq为海外技术研发中心,逐步开展ALD技术研发产业化落地,通过整合Beneq近40年成熟应用的ALD镀膜技术与国内产业化优势,聚焦集成电路、新兴半导体、泛半导体和光电子等工业镀膜应用领域,为全球客户提供成熟领先的ALD镀膜解决方案,助力半导体等相关行业发展。目前,思锐智能及其子公司拥有300余项相关专利,在ALD技术及应用方面具备雄厚的技术积累。公司在推进ALD业务转型升级后,布局离子注入设备业务并取得突破,以高能离子注入机为切入点开展研发,解决国内高端离子注入机”卡脖子“问题,逐步完成硅基及化合物半导体领域全系列机型的布局。依托半导体先进装备研发制造中心,公司已成为拥有全球客户拓展能力的中高端半导体装备生产制造商,业务范围覆盖全球40个国家及地区,累计超过500个全球客户。