晶体管的发展史:技术如何逼近极限?

由于具有低功耗,可靠的性能和高速等特性,CMOS技术将在几乎所有数字应用中采用并取代NMOS和双极性技术。我们还解决了晶体管材料和先进技术节点中使用的任何新材料的物理缩放限制。因此,该器件被称为MOS晶体管。图1. NMOS晶体管的结构B.为什么用多晶硅作为栅极材料?由于米勒电容,晶体管的开关速度会降低。