青锐跟投矽行半导体A轮融资 | 青锐Portfolio

宽波段明场缺陷检测设备：TB1000

青锐创投已于近期完成了对苏州矽行半导体技术有限公司（以下简称矽行半导体）的投资， 此次融资将主要用于规模扩张和技术创新的提升。

苏州矽行半导体技术有限公司成立于2021年11月，研发总部位于苏州高新区，是一家专业从事半导体检测设备研发、生产、销售，同时拥有百级装调测试实验室洁净间的本土半导体公司。

在半导体制造流程中，前道瑕疵检测是其中的关键工序，其中明场缺陷检测难度高、检测类型广，一直以来被国外巨头垄断。

今年8月，矽行半导体首台面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000正式交付客户，该设备实现了精密光机电关键核心部件的自主可控，并采用了先进的信号处理算法，有效提高了设备在关键制程的缺陷检测灵敏度，有望打破半导体产业关键设备的国外垄断。矽行半导体的技术骨干全部来自国内外知名大学，博硕比例超过80%，拥有多年半导体行业经验，旨在打造国内乃至全球领先的半导体检测装备龙头企业。此次推出明场缺陷检测设备是矽行半导体实现的重要突破，也代表着中国在半导体光学检测设备领域迈出了更加坚实的一步。

我们对矽行半导体的未来发展充满信心，并期待团队能够为中国半导体光学检测行业的技术突破贡献有生力量。