半导体机械手与晶圆传输系统领先企业「素珀电子」完成新一轮融资

近日，国内半导体机械手与晶圆传输系统领先企业素珀电子科技（上海）有限公司（以下简称：素珀电子）完成新一轮融资，由国投创业领投。此次融资将推动半导体洁净机械手的自主创新，加速实现国产替代。素珀电子聚焦半导体真空机械手、大气机械手的研发及生产，并围绕机械手同步提供真空传输平台（VTM）、前端传输系统（EFEM）等晶圆传输系统。半导体机械手是各类半导体装备的关键部件之一，是晶圆传输系统中技术门槛最高的部件，当前我国在该领域被国外厂商垄断超过90%。半导体机械手特别是真空手的自主化水平极低。素珀电子通过持续的创新研发投入，成功攻克多项技术难题，大幅提升手臂精度和稳定性、优化动力传输系统uptime。目前公司已拥有专利73个，涵盖了机械手臂的核心零部件及控制器等领域，是极少数能比肩国际一流水平、批量交付真空机械手的本土厂商。为进一步满足客户批量化定制化需求，公司新建68000㎡半导体机械手研发生产基地，预计2026年底一期竣工投入使用。国投创业：素珀电子核心团队由深耕行业十多年的资深工程专家构成，依靠扎实的机电软技术基础与持续迭代的运动学及动力学算法，公司已成为多家大型半导体设备企业的核心供应商。通过本轮投资，国投创业将支持素珀电子扩大产能、深化核心部件自研工作，加快半导体机械手与晶圆传输部件的国产替代进程。