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2nm芯片开启“团战”模式

半导体行业观察 2021.03.09 来源: 虎嗅网 热度: 328
日本媒体指出，这有助于制造2nm及更先进制程芯片，他们计划将合作成果应用在2024年后的新一代先进半导体当中。台积电2019年成立了2nm专案研发团队，寻找可行路径进行开发。按照规划，台积电有望在 2023 年中期进入 2nm 工艺试生产阶段，并于一年后开始批量生产。到2024年，启动2nm的大规模生产，2025年生产规模扩大，到时所需新EUV光刻机数预计为62台。据悉，ASML将在2022年完成第1台High-NA EUV光刻机系统的验证，并计划在2023年交付给客户，主要就是台积电。